設備主體：VHP傳遞窗采用不銹鋼主體結構，內(nèi)腔采用316L不銹鋼，框架和外表面采用304不銹鋼結構，內(nèi)腔采用圓弧角滿焊設計，采用Ra≤0.6μm拋光度。
VHP發(fā)生單位：內(nèi)置閃蒸原理干法VHP發(fā)生器，采用集成控制方式，與VHP傳遞窗采用 統(tǒng)一控制方式，VHP 發(fā)生濃度，腔體溫濕度和飽和度控制更穩(wěn)定。
氣動密封系統(tǒng)：壓縮空氣動力系統(tǒng)包含充氣密封和氣動閥門的控制。充氣密封和氣動閥控制采用一路壓縮空氣管路，包含減壓閥和電磁閥控制。另一路壓縮空氣。
控制系統(tǒng)：標準的控制系統(tǒng)采用PLC和HMI控制方式，采用標準的模塊化控制板，穩(wěn)定可靠，控制系統(tǒng)設計經(jīng)過充分的驗證和實踐應 用，穩(wěn)定可靠。
凈化過濾系統(tǒng)：腔體送風和排風均采用H14 高效過濾器過濾，工藝管路和腔體均采用凈化設計，配合高效過濾系統(tǒng)，可在腔體實現(xiàn)A級凈化，設備預留專用檢測口，可對凈化條件實現(xiàn)在線測試驗證。
電器系統(tǒng)：電器柜的設計符合安全和防護法規(guī)要求，電器線路布局有序合理，強電和弱電標 示明顯，符合CE和EN標準。
EHS要求：人員安全防護和產(chǎn)品安全防護均在設計上做了充分考慮，采用強電安全保護，保證操作人員接觸不到強電，兩側(cè)均有急停按鈕設計；高溫部件采取明確高溫標示；腔體采用電磁互鎖裝置，避免產(chǎn)品和潔凈室的污染；異常狀態(tài)聲光報警信號提示，避免安全事件發(fā)生。
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