本系列是由無油爪泵和無油分子真空泵串聯(lián)而成, 結合了兩種泵的優(yōu)點,結構緊湊,運行可靠。本單位是 國內(nèi)唯一家具有干式分子泵機組的廠家。由于分子泵啟 動條件比較嚴格,對前級泵的極限真空度要求比較苛 刻,必須在干泵真空度抽到<10Pa 后,分子泵才可以 啟動,這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于:真空實 驗室等特殊無油高空度環(huán)境。用無油爪泵做前級泵,對 被抽環(huán)境無污染,無返油,維護周期長,且能維持長期 穩(wěn)定的極限壓力。
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